上海花千坊中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称:中微公司,证券代码:688012)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工设备公司。通过向全球领先的半导体和LED芯片制造商提供具有竞争力的设备和高质量的服务,中微为客户的技术水平提升、生产效率提高、生产成本降低和竞争力增强做出了重要贡献。
中微基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术,跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的设备领域,瞄准世界科技前沿,坚持自主创新。
中微的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备,已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的芯片加工制造及先进封装。中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投入量产,并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。中微公司的客户遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、日本、德国、意大利、俄罗斯等国家和地区。
专利号/专利申请号 | 专利名称 | 专利详情 |
ZL201210378282.X | 等离子体处理装置及调节基片边缘区域制程速率的方法 | 第二十二届中国专利奖(2020年) |
标准号 | 标准名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准详情 |
GB/T 40577-2021 | 集成电路制造设备术语 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | |